CeO₂研磨液的特点及应用
CeO₂研磨液的特点及应用
CeO₂中文名字是:二氧化铈,二氧化铈是铈的氧化物,铈是稀土中含量最丰富的元素。我是中铈矿比较丰富的国家,据估计我们的铈矿的储量占世界的50%以上。CeO₂为稀土族元素氧化物中应用范围最广的化合物,铈对氧和硫有很强的化学亲和力,具有特殊的变价特性和化学活性。
深圳海德提供CeO₂研磨液,在平面研磨抛光中应用广泛,下面与大家分享一下CeO₂研磨液的特点及应用
产品描述:本纳米氧化铈CMP抛光液,是采取先进的处理工艺,达到国家行业标准。二氧化铈粒子激光粒度平均粒径120纳米,氧化铈一次粒径为25纳米,外观为白色呈蓝相的牛奶状水性液体。产品具有非常低的粘度,可长时间放置不分层和沉淀。本浆料是二氧化铈和水的混合物,纯度高,可实现去离子水稀释至任何浓度稳定不聚沉。
使用推荐:本品具有非常高的抛光效率和稳定性,使用时可用水稀释至合适的二氧化铈浓度(建议2%-5%),后加入抛光设备进行抛光操作。本品对二氧化硅的去除效率很高,且不产生划痕,同时纯度高,不腐蚀设备、不对人身体产生危害。可实现对高精密玻璃、半导体晶片的高度精密器件抛光。
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