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LED抛光垫,LED抛光皮,LED蓝宝石抛光皮的作用

2015-3-12 15:50:47      点击:

  随着光电技术的加速发展,光电产品对蓝宝石衬底材料需求量的日益增加,同时随着LED元件的不断拓展,蓝宝石已经成为最重要的衬底材料之一,具有极大的国内外市场需求。蓝宝石衬底研磨抛光在LED行业显得犹为重要,LED衬底抛光所使用的耗材比较多,今天主要给大家讲一下LED抛光垫的作用。

  LED抛光垫也叫蓝宝石抛光垫,LED抛光皮等。不同的公司叫发不一样,但作用都是一样的。广泛用于各种精密抛光,仪器抛光,仪表抛光,液晶玻璃基板、光学玻璃、半导体、硅片、光学镜面抛光,镭射唱片抛光,表面粗糙度极高的工件镜面抛光等材料的高精度抛光。

  在使用平面研磨机研磨LED衬底时,LED抛光垫将抛光液中的磨粒输送到工件表面,使突起的部分平坦化,是输送抛光液的关键部件。抛光垫的剪切模量及弹性模量、粗糙度和可压缩性等机械特性对工件的平整度及去除率有着重要影响。抛光垫的硬度对抛光均匀性有明显的影响,硬垫可获得较好的晶片内(Within Wafer. WIW)均匀性和较好的平面度,软垫可改善芯片内(Within Die.WID)均匀性,通过组合使用硬垫及软垫,来获得良好的WID和WIW,如在圆片及其固定装置间加一层弹性背膜,就可满足刚性及弹性的双重要求。抛光垫按其组成的材质,可以分为聚氨醋抛光垫、无纺布抛光垫、带绒毛结构的无纺布抛光垫和两层符合体抛光垫。抛光垫的表面粗糙度及多孔性将影响工件实际参与加工的面积、抛光液的传输量和材料去除率。抛光垫表面越粗糙,接触的面积就越大,使得材料去除率增大。抛光垫经过多次使用后,其表面会逐渐“釉化”,从而使去除材料的速度下降。这时,可以用修整的方法来恢复抛光垫的粗糙度,一般采用修整环修整,达到恢复或改善抛光垫输送抛光液的性能,从而使去除速度得到维持且延长抛光垫的寿命。因而改进抛光垫、延长其使用寿命从而减小加工损耗是CMP技术的主要挑战之一。

  深圳海德研磨提供LED抛光皮。 LED抛光垫:提供各种尺寸、材质的抛光垫。所有抛光垫均带背胶,便于将抛光垫固定在抛光盘上。可以抛光多种材质的工件,如硅片、砷化镓、石英晶体、蓝宝石、金属、玻璃、半导体材料等。LED蓝宝石抛光垫是一种丝绒状抛光布,可用于光学元件的终道和手修,以及晶体和金属等材料的终道抛光,也可用于透镜的防护垫,背面带胶。

  基本描述:产品有耐磨耗,使用周期长,耐高温等特点,可以按客户要求调整规格、可背胶、可开槽。

  厚度:0.8(mm)、1.0(mm)、1.27(mm)、1.5(mm)、2.0(mm)供选择使用。

  文章关健字:LED抛光垫

  文章来源:http://yanmoye.cn/Product/paoguangpi/